ポジ型ホトレジスト組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阿形明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-073613
公開番号（公開出願番号）：特開平5-158232
出願日： 1991年03月14日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：

【要約】【構成】 (A)ノヒドロキシスチレンとメチルメタクリレートとの共重合体、(B)キノンジアジド基含有化合物、(C)熱硬化性樹脂及び場合により(D)一般式【化1】(Z:4-低級アルコキシフェニル基、4-低級アルコキシナフチル-(1)基、水酸基やカルボキシル基を有する4-低級アルコキシナフチル基)で表わされるトリアジン化合物を含有するポジ型ホトレジスト組成物。【効果】集光性の高い優れた形状を有し、かつ透明性の良好なマイクロレンズを形成することができる。

請求項（抜粋）：