角速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：広瀬和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-344474
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159460
出願日： 1995年12月05日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】基板に対するX軸方向の振動板の振動を大きくすることにより、Z軸周りに加わる角速度による振動板の変位を大きくし、検出感度を高める。【解決手段】基板22上に形成した振動発生部37の可動側振動用楔状電極27のL形電極板28と、固定側振動用楔状電極31のL形電極板33の形状を互いに離間して噛合するように形成する。電極27と31に振動駆動信号を印加し折曲部の伸長方向となる矢示a方向に振動板26を大きく振動させる。これにより、Z軸周りの角速度ΩZ が加わったときには、コリオリ力により振動板26がY軸方向に大きく変位し、この変位を変位検出部38で高精度に検出する。

請求項（抜粋）：

基板と、基端側が該基板側に固着された支持梁と、該支持梁の先端側に位置して前記基板の表面から離間した状態でX軸,Y軸方向に変位可能に設けられた振動板と、該振動板をX軸とY軸のうち一方の軸方向に振動させる振動発生手段と、該振動発生手段によって前記振動板をX軸とY軸のうち一方の軸方向に振動させた状態で、Z軸周りの角速度が加えられたとき、この角速度の変化に対応するX軸とY軸のうち他方の軸方向の変位量を検出する変位検出手段とを備えた角速度センサにおいて、前記振動発生手段は前記振動板の少なくとも一辺に突出して設けられ、X軸方向とY軸方向の成分を有する可動側楔状電極と、該可動側楔状電極と隙間をもって対面するように前記基板側に設けられ、X軸方向とY軸方向の成分を有する固定側楔状電極とから構成し、前記変位検出手段は前記振動板の可動側楔状電極と直交する少なくとも他の一辺に突出して設けられた可動側くし状電極と、該可動側くし状電極と隙間をもって対面するように前記基板側に設けられた固定側くし状電極とから構成したことを特徴とする角速度センサ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (5件)

慣性センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-049519 出願人：株式会社東芝
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-143148 出願人：株式会社村田製作所
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-113909 出願人：株式会社村田製作所

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