特許

J-GLOBAL ID：200903078269498794

液体材料流量制御ポンプ

発明者： 高松 勇吉 ,  米山 岳夫 ,  石濱 義康
出願人/特許権者： 日本パイオニクス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-344181
公開番号（公開出願番号）：特開平11-159464
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：

【要約】【課題】 半導体製造用のCVD装置に液体材料を供給する際に、液体材料の品質低下を生じることがないとともに、CVD装置の操作条件に制約されず高精度で供給できるポンプを開発する。【解決手段】 ケーシング内にピストンとピストンの慴動で容積変化するベローズを組み合わせて設け、ケーシングに配管継手を溶接するとともに継手内に吸入弁および吐出弁を内蔵させたポンプ構成とする。

請求項（抜粋）：

ケーシング内がベローズで2つの室に仕切られ、該ベローズ内側室に外気とパッキンでシールされたピストンと作動油を備え、該ケーシングに吸入弁を内蔵する吸入側配管継手と1.0〜100kg/cm2 の圧力差で作動する吐出弁を内蔵する吐出側配管継手とがそれぞれ溶接され、該ベローズの外側室は該吸入側配管継手および該吐出側配管継手に接続されており、該ピストンの摺動で拡大縮小する該ベローズを介して液体材料を吸入、吐出することを特徴とする液体材料流量制御ポンプ。