特許
J-GLOBAL ID：200903078275583590
赤外線検出素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-038105
公開番号（公開出願番号）：特開平5-231946
出願日： 1992年02月25日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 熱絶縁膜を薄くしても、内部応力による歪みや破壊が生じず、製造歩留りが高く、使用時には高い感度および耐久性を示す赤外線検出素子を提供する。【構成】 熱絶縁膜上に、一対の電極層30、50および両電極層30、50の間に挟まれたサーミスタ層40を含む複数層の膜状体を備えた赤外線検出素子において、少なくとも1層の膜状体が、切れ目で分離された帯状の細幅部分が折り返し連続して並んでいるなどのパターンで、細幅に分離形成されている。
請求項（抜粋）：
熱絶縁膜上に、一対の電極層および両電極層の間に挟まれたサーミスタ層を含む複数層の膜状体を備えた赤外線検出素子において、少なくとも1層の膜状体が、細幅に分離形成されていることを特徴とする赤外線検出素子。
IPC (2件)：
引用特許：
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