特許
J-GLOBAL ID：200903078286616555
半導体ウェハ収納容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-083343
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251548
出願日： 1992年03月03日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】 半導体ウェハ収納容器の容器表面の帯電両を減少させることにより、異物粒子の付着を防止する。【構成】 半導体ウェハ収納容器に表面処理を行い、容器表面を粗くあるいは親水性にする。【効果】 帯電しにくく、あるいは帯電しても電荷を蓄積しにくい半導体ウェハ収納容器表面となるので、該容器表面および半導体ウェハへの粒子の付着が減少し、ウェハへの異物混入によるデバイス不良を防ぐことができる。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハをその中に収納する半導体ウェハ収納容器において、該容器表面を粗くしたことを特徴とする半導体ウェハ収納容器。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 85/00
, B65D 85/38
