特許

J-GLOBAL ID：200903078294482878

感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品

発明者： 佐々木 顕浩
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-309019
公開番号（公開出願番号）：特開2001-125266
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】良好なi線透過性とイミド化後の低熱膨張性を両立し、かつ、高感度、高解像度で、形状の良好なパターンが形成でき、アルカリ現像が可能な感光性樹脂組成物、イミド化後に低応力で、耐熱性等を示すポリイミドの膜を形成できるパターン及び信頼性に優れる電子部品を提供する。【解決手段】一般式(1)(XとYは、各々独立に、各々の結合するベンゼン環と共役しない2価の基又は単結合を示し、Zは、一般式(2)(R10は単結合、O、CH2、S又はSO2を示し、R2〜R9は各々独立に、水素原子又はその他の1価の基を示す)を示し、個々のR1は各々独立に水素原子、炭素数1〜10の炭化水素基又は光重合性基を示す)で表される繰り返し単位を有し、その繰り返し単位中の一部のR1は水素原子であり、かつ、その繰り返し単位中の一部のR1は炭素数1〜10の炭化水素基又は光重合性基であるポリアミド酸の部分エステルを含有してなる感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品。

請求項（抜粋）：

一般式(1)【化1】(式中、XとYは、各々独立に、各々の結合するベンゼン環と共役しない2価の基又は単結合を示し、Zは、一般式(2)【化2】(式中、R10は単結合、O、CH2、S又はSO2を示し、R2〜R9は各々独立に、水素原子又はその他の1価の基を示す)を示し、個々のR1は各々独立に水素原子、炭素数1〜10の炭化水素基又は光重合性基を示す)で表される繰り返し単位を有し、その繰り返し単位中の一部のR1は水素原子であり、かつ、その繰り返し単位中の一部のR1は炭素数1〜10の炭化水素基又は光重合性基であるポリアミド酸の部分エステルを含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/037 501 ,  C08G 73/10 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/038 504

FI (5件)：

G03F 7/037 501 ,  C08G 73/10 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/038 504

Fターム (123件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC14 ,  2H025BC15 ,  2H025BC35 ,  2H025BC53 ,  2H025BC68 ,  2H025BC69 ,  2H025BE00 ,  2H025BE02 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ00 ,  2H025CB24 ,  2H025CB25 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J002CM04W ,  4J002EE036 ,  4J002EE056 ,  4J002EK066 ,  4J002EN096 ,  4J002EN116 ,  4J002EQ036 ,  4J002EU096 ,  4J002EU106 ,  4J002EU136 ,  4J002EV296 ,  4J002EV306 ,  4J002EZ006 ,  4J002FD206 ,  4J002GP03 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043PA19 ,  4J043PC015 ,  4J043PC065 ,  4J043PC135 ,  4J043PC145 ,  4J043PC205 ,  4J043QB15 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043RA35 ,  4J043RA39 ,  4J043SA06 ,  4J043SA42 ,  4J043SA43 ,  4J043SA44 ,  4J043SA54 ,  4J043SA62 ,  4J043SA71 ,  4J043SA72 ,  4J043SA82 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA06 ,  4J043TA14 ,  4J043TA22 ,  4J043TA27 ,  4J043TA47 ,  4J043TA66 ,  4J043TA67 ,  4J043TA68 ,  4J043TA78 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA142 ,  4J043UA151 ,  4J043UA152 ,  4J043UA222 ,  4J043UA232 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA362 ,  4J043UA612 ,  4J043UA622 ,  4J043UA662 ,  4J043UA672 ,  4J043UB011 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB132 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB281 ,  4J043UB292 ,  4J043UB301 ,  4J043UB312 ,  4J043UB322 ,  4J043UB352 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA011 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA031 ,  4J043VA032 ,  4J043VA041 ,  4J043VA051 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA081 ,  4J043VA091 ,  4J043VA101 ,  4J043VA102 ,  4J043ZB22 ,  4J043ZB50