特許
J-GLOBAL ID：200903078297052254
振動ジャイロ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
笹沢 和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-106121
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294654
出願日： 1993年04月08日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】【目的】 形状が単純のため加工容易で量産に適し、かつ実装面積が小さく、小型化と低価格化が容易に行える複数の角速度を同時に検出できる振動ジャイロを提供すること。【構成】 一つの振動材10に、共振周波数が離れている複数の振動子11、12が目的とする検出角速度の角度に合わせた方向に一体形成され、各振動子11、12の軸方向には、駆動と検出の共通電極としての溝部電極20、21と外部電極22、23が設けられ、更に各振動子11、12における駆動側アーム27、28および検出側アーム33、34の相対向せる外側2面には、それぞれ駆動用電極29〜32および検出用電極35〜42が設けられている。
請求項（抜粋）：
一つの振動材に、共振周波数が離れている複数の振動子が目的とする検出角速度の角度に合わせた方向に一体形成され、各振動子の軸方向には、駆動と検出の共通電極としての溝部電極と外部電極が形成されると共に、各振動子における駆動側アームおよび検出側アームの相対向せる外側2面には、それぞれ駆動用電極および検出用電極が設けられた構成を特徴とする振動ジャイロ。
IPC (2件)：
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