特許

J-GLOBAL ID：200903078298602398

光路長制御用圧電アクチュエータ構造体

発明者： 佐藤 秀俊
出願人/特許権者： 日本航空電子工業株式会社
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-088955
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288576
出願日： 1995年04月14日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】 安価な構成で、可動ミラーの正確かつ高精度な変位制御を可能とする。【構成】 光路長制御用可動ミラーを保持するミラー保持体22に圧電アクチュエータ51が対接され、圧電アクチュエータ51を駆動して可動ミラーを変位させるようにした光路長制御用圧電アクチュエータ構造体において、圧電アクチュエータ51のミラー保持体22と対向するリング状電極52の内周より、その電極形成面内でほぼ等角間隔で3つの突起52aを一体に突出形成し、それら3つの突起52aの先端をミラー保持体22にそれぞれ点接触させる。圧電アクチュエータ51はミラー保持体22と3点接触する状態となり、安定した連結状態が得られる。

請求項（抜粋）：

光路長制御用可動ミラーを保持するミラー保持体に圧電アクチュエータが対接され、上記圧電アクチュエータを駆動して上記可動ミラーを変位させるようにした光路長制御用圧電アクチュエータ構造体において、上記圧電アクチュエータの上記ミラー保持体と対向するリング状電極の内周より、その電極形成面内でほぼ等角間隔で3つの突起が一体に突出形成され、それら3つの突起の先端が上記ミラー保持体にそれぞれ点接触していることを特徴とする光路長制御用圧電アクチュエータ構造体。

IPC (3件)：

H01S 3/083 ,  G01C 19/66 ,  H01L 41/09

FI (3件)：

H01S 3/083 ,  G01C 19/66 ,  H01L 41/08 L