特許
J-GLOBAL ID：200903078298830935
板材表面の光学特性測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-018603
公開番号（公開出願番号）：特開平5-215671
出願日： 1992年02月04日
公開日（公表日）： 1993年08月24日
要約：
【要約】【目的】 板材表面の光学特性測定装置の改良技術を提供する。【構成】 加熱手段14を有する測定用チェンバ8とサンプル1を固定するサンプルステージ9と入射窓22および測定窓23を複数対有する観測窓ユニット10とからなる加熱炉でサンプル1を加熱しながらその表面の光学特性を測定する際に、外嵌枠体とこの外嵌枠体に摺動自在に嵌合される内嵌枠体とからなるサンプル固定カセット26を用いてサンプル1をサンプルステージ9に着脱自在に固定するようにしたことにより、サンプル1の取り替えを容易にして省力化を図るとともに、サンプル1の汚染や表面傷の発生を防止することができる。
請求項（抜粋）：
加熱手段を有する測定用チェンバとサンプルを固定するサンプルステージと入射窓および測定窓を複数対有する観測窓ユニットとからなる加熱炉と、前記入射窓を介して前記サンプルに入射光を入射する放射光光源と前記測定窓を介して前記サンプルからの反射光を測定する光学センサと、前記サンプルの表面に溶着されて表面温度を測定する熱電対とを備えた板材表面の光学特性測定装置であって、前記サンプルステージに固定される外嵌枠体と、この外嵌枠体に摺動自在に嵌合されて前記サンプルをスペーサを介して固定する内嵌枠体とからなるサンプル固定カセットを設けたことを特徴とする板材表面の光学特性測定装置。
IPC (2件)：
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