特許
J-GLOBAL ID:200903078301322040

レターデーション測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-246341
公開番号(公開出願番号):特開平8-110265
出願日: 1994年10月12日
公開日(公表日): 1996年04月30日
要約:
【要約】【目的】測定位置が正確でレターデーション量を高精度に測定できるレターデーション量測定装置を提供する。【構成】試料216を載せるステージ214の下側には、下から順に、測定光を射出する光源202、コンデンサレンズ204、干渉フィルター206、特定の偏光成分のみ透過するポラライザ208、1/4波長板210、コレクタレンズ212が配置されている。また、ステージ214の上側には、下から順に、対物レンズ218、特定の偏光成分のみ透過するアナライザ220、結像レンズ225、ビームスプリッター222、入射光の強度を測定する測光装置224が配置されている。さらに、ビームスプリッター222の反射光を受ける接眼レンズ226が設けられている。ポラライザ208、1/4波長板210、アナライザ220は独立にあるいは同期して回転可能に支持されている。
請求項(抜粋):
ステージ上に載置した標本を中心に光源側または測光側にポラライザ、測光側または光源側に補償板とアナライザを配置して成る複屈折物体のレターデーション測定装置に於いて、前記ポラライザ、アナライザ、補償板がそれぞれ光軸を中心に独立して、またはそれぞれ同期して、回転可能であり、且つ前記補償板が前記光軸上に挿脱自在ならしめたことを特徴とするレターデーション測定装置。

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