位置検出器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-216759
公開番号（公開出願番号）：特開平6-066594
出願日： 1992年08月14日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：

【要約】【目的】検出信号の低下による出力異常を未然に検知する位置検出器を提供する。【構成】スリット部3,21,光検出器25,増幅器33を含む変位信号生成部から出力される90度位相差のある2つの正弦波信号を、複数のしきい値で比較し、またZ相和信号生成回路27から得られる基準信号原波形を異常信号しきい値で比較し、基準信号出力時、または、移動方向によって異常を同時出力判別回路32で判断し、また、速度検出回路35の結果によって、異常検出ブロック32,36,37の有効性を判断する構成を有する。

請求項（抜粋）：

被検出部との相対運動に応じて、90度位相差のある2つの正弦波をその相対移動量に応じた波数だけ生成する変位信号検出生成部と、複数のしきい値と前記正弦波を比較し、前記正弦波形振幅の減少時に、出力信号変化を生ずる信号異常検出部を備えた位置検出器。

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