特許
J-GLOBAL ID：200903078309927600
非接触断面形状測定方法および測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
岩佐 義幸
, 中村 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-185531
公開番号（公開出願番号）：特開2004-028792
出願日： 2002年06月26日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：
【課題】曲がりが大きい鏡面体被測定物を悪環境下において、安価に測定できる測定方法および装置を提供する。【解決手段】レーザ三角測量方式の変位計1と、被測定物5からの反射光が入射するスクリーン4と、スクリーン4上の入射位置を測定する撮像装置(集光レンズ3と光検出器2とから構成される)とを備え、被測定物の乱反射部分については変位計1で距離を測定して被測定物の表面の形状を求め、この形状を延長して被測定物の鏡面部分の最初の測定点の距離を求める。鏡面部分の測定点については、測定距離と、スクリーン4上の入射位置とから測定点における入射角を求め、測定点における接線の角度(傾き)を算出する。このような接線の傾きの算出を連続して行うことにより、被測定物の表面の断面形状を算出する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
乱反射部分を一部に含む反射表面を備える物体の表面を、乱反射成分を測定するレーザ三角測量方式の変位計を用いて所定ピッチで走査して、前記物体の表面の断面形状を測定する方法であって、
(a)前記変位計を用いて、前記乱反射部分の距離を測定して前記乱反射部分の表面断面形状を求め、
(b)前記乱反射部分の表面断面形状を延長して、前記反射表面の最初の測定点の距離を求め、
(c)前記反射表面の最初の測定点の距離から、前記反射表面の最初の測定点へ入射した光の入射角を算出して、前記反射表面の最初の測定点における接線角度を求め、
(d)前記反射表面の最初の測定点における接線角度と、前記反射表面の最初の測定点の距離と、測定点間のピッチとから、前記反射表面の第2の測定点の距離を求め、
(e)前記反射表面の第2の測定点の距離から、前記反射表面の第2の測定点へ入射した光の入射角を算出して、前記反射表面の第2の測定点における接線角度を求め、
(f)前記反射表面の最初の測定点の接線角度と前記反射表面の第2の測定点の接線角度とに基づいて、それぞれの測定点における接線を算出し、前記それぞれの測定点における接線を順次結んで前記反射表面の断面形状を求める測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (16件)：
2F065AA03
, 2F065AA06
, 2F065AA32
, 2F065AA52
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065BB22
, 2F065CC00
, 2F065FF04
, 2F065FF09
, 2F065GG05
, 2F065JJ03
, 2F065JJ14
, 2F065JJ16
, 2F065JJ26
, 2F065MM03
