アクティブ型除振装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-351502
公開番号（公開出願番号）：特開平7-197990
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：

【要約】【目的】垂直荷重の増大による圧電素子アクチュエータの駆動電圧の増加及び制御性の悪化を解消し、機器搭載台に発生する常時微振動を確実に除振できるアクティブ型除振装置を提供する。【構成】基台3と機器搭載台4との間に複数の鉛直駆動用圧電素子アクチュエータ6が設けられ、鉛直駆動用圧電素子アクチュエータ6で機器搭載台5に発生する振動と逆位相の振動を機器搭載台5に加振することにより機器搭載台5の振動を除振する。そして、基台3と機器搭載台5との間に弾性体22を設け、弾性体22により、機器搭載台5を介して鉛直駆動用圧電素子アクチュエータ6に加わる荷重を支持するようにした。これにより、鉛直駆動用圧電素子アクチュエータ6に加わる荷重を軽減することができるので、鉛直駆動用圧電素子アクチュエータ6を駆動する駆動電圧を増加させる必要がないと共に、鉛直駆動用圧電素子アクチュエータ6の制御性が悪化しない。

請求項（抜粋）：

基台と、前記基台の上面にその駆動方向下端が支持された圧電素子アクチュエータと、前記圧電素子アクチュエータの上端に設けられ、前記圧電素子アクチュエータによって駆動される機器搭載台と、前記機器搭載台に発生する振動に基づいて圧電素子アクチュエータの駆動を制御する制御機構と、から成り、前記圧電素子アクチュエータで前記機器搭載台の振動と逆位相の振動を機器搭載台に加振することにより機器搭載台の振動を除振するアクティブ型除振装置に於いて、前記基台と前記機器搭載台との間に前記圧電素子アクチュエータと並列に弾性部材を設け、前記機器搭載台を介して前記圧電素子アクチュエータに加わる垂直荷重を軽減するようにしたことを特徴とするアクティブ型除振装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-302738
防振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-089655 出願人：ヤンマーディーゼル株式会社
特開平2-231214

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