特許
J-GLOBAL ID：200903078322890073
基板収納容器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-186768
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015583
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 製造工期の短縮化、生産効率の向上および生産コストの削減を実現できる基板収納容器を提供する。【解決手段】 基板を収納し、搬送する基板収納容器であって、基板を収納する容器12と、容器12に密着固定され、容器12を密閉する蓋14で構成される。蓋14の内部に、容器12の封止ガスを一時的に保持し、容器12にその封止ガスを導入する手段を設けた装置である。また、蓋14の内部に、一時的に低圧力空間を実現し、容器12内のガスをその低圧力空間に吸い込んで排気する手段を設けた装置である。
請求項（抜粋）：
基板を収納する容器と、前記容器の蓋体であって、前記容器に密着固定され、前記容器を密閉する蓋体と、前記容器の封止ガスを一時的に保持し、前記容器に前記封止ガスを導入する手段とを有することを特徴とする基板収納容器。
Fターム (14件)：
5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031EA11
, 5F031EA12
, 5F031EA14
, 5F031FA01
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031MA28
, 5F031MA31
, 5F031NA02
, 5F031NA04
, 5F031NA10
, 5F031NA17
