特許

J-GLOBAL ID：200903078330570410

レーザ光照射装置

発明者： 小林 直之 ,  石坂 進一 ,  次田 純一 ,  加藤 修
出願人/特許権者： 株式会社日本製鋼所
代理人 (1件)： 横井 幸喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-073817
公開番号（公開出願番号）：特開2000-269161
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 レーザ光照射装置において、被照射物で反射したレーザ光が装置を誤動作させるのを防止する。【解決手段】 被照射物7に対しレーザ光10を斜め方向から入射させる。斜め方向からの入射は、被照射物7を傾斜させたり、ミラー4、集光レンズ5の配置を変えたりすることにより行う。【効果】 被照射物への斜め方向からの入射により反射レーザ光が光路をそのまま逆行するのを防止でき、装置を誤動作させるレーザ光検出器への反射光の到達を阻止する。

請求項（抜粋）：

被照射物にレーザ光を照射するレーザ光照射装置において、該被照射物を支持する支持台を備えており、該支持台は、被照射物の照射面がレーザ光束の中心線と直交する方向に対し角度差を有するように被照射物を支持することを特徴とするレーザ光照射装置

IPC (2件)：

H01L 21/268 ,  H01L 21/20

FI (3件)：

H01L 21/268 G ,  H01L 21/268 J ,  H01L 21/20

Fターム (3件)：

5F052AA02 ,  5F052BA12 ,  5F052BA18

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-189216
  
• レーザ照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-063390   出願人：セイコー電子工業株式会社, 興和株式会社