特許
J-GLOBAL ID:200903078334403089
薄膜コンデンサおよびそれを用いたコンデンサ基板
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-122816
公開番号(公開出願番号):特開2004-327867
出願日: 2003年04月25日
公開日(公表日): 2004年11月18日
要約:
【課題】薄膜コンデンサが持つ電極の抵抗を低く保ち、且つ、信頼性を確保する、薄膜コンデンサを提供することを目的とし、更にはこのような基板を提供する。【解決手段】支持基板1上に、一方極性の電極層2と他方極性の電極層4との間に薄膜誘電体膜3を挟持して容量形成部を有するとともに、同一極性の電極層2、4を接続する外部端子を有し、薄膜誘電体膜を被覆しかつ外部端子が露出するような開口部を備えた保護層7を有する薄膜コンデンサにおいて、前記少なくとも一方の電極層、例えば4が、その端部で膜厚方向に複数の段差から成る段差部Xからなり、前記段差部Xの膜厚は、端部外周に向かうにつれて、前記電極層の膜厚が薄くなる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
支持基板上に、一方極性の電極層と他方極性の電極層との間に薄膜誘電体膜を挟持して成る容量形成部を形成するとともに、前記容量形成部上に前記両電極層の一部を露出させて保護層を被着形成してなる薄膜コンデンサにおいて、
前記少なくとも一方の電極層は、その端部が端部外周に向かうにつれて膜厚が薄くなる段差部を有していることを特徴とする薄膜コンデンサ。
IPC (2件):
FI (2件):
H01G4/06 102
, H05K1/16 D
Fターム (39件):
4E351AA07
, 4E351BB04
, 4E351BB32
, 4E351BB35
, 4E351CC03
, 4E351DD11
, 4E351DD43
, 4E351GG07
, 4E351GG09
, 5E082AA01
, 5E082AB10
, 5E082BC33
, 5E082BC35
, 5E082BC40
, 5E082CC02
, 5E082EE05
, 5E082EE12
, 5E082EE23
, 5E082EE37
, 5E082EE45
, 5E082FF05
, 5E082FG03
, 5E082FG26
, 5E082FG42
, 5E082FG56
, 5E082FG60
, 5E082GG04
, 5E082GG08
, 5E082GG11
, 5E082GG26
, 5E082GG30
, 5E082HH43
, 5E082HH51
, 5E082JJ02
, 5E082JJ06
, 5E082JJ12
, 5E082JJ30
, 5E082MM09
, 5E082PP09
引用特許:
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