特許
J-GLOBAL ID：200903078339051504
表面欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小塩 豊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-010864
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275033
出願日： 2000年01月19日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 被検査体の被検査面に汚れやしみ、埃などの異物などを欠陥として誤検出することなく、プレスによる微小な凹凸や突起などの表面欠陥のみを高い検出精度で自動抽出することができる表面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 画像処理手段の欠陥候補抽出手段10により抽出された欠陥候補情報を欠陥候補識別手段12において時間的に異なる他の時系列の欠陥候補情報と比較し、検査領域で検出された欠陥候補情報のうち、非検査領域においても検出されている欠陥候補を汚れや埃による誤情報と判定して欠陥候補から排除し、さらに欠陥候補識別手段12により得られた欠陥情報を欠陥信頼度判定手段13において他の車体パネルPについて得られた欠陥情報と照合し、他の車体パネルPの欠陥情報と位置あるいは面積が一致する欠陥候補を表面欠陥と判定する一方、一致しない欠陥候補を油の付着むらによる誤情報として欠陥候補から排除する。
請求項（抜粋）：
相対的に移動する被検査体の被検査面に対して被検査面の一方側斜め上方から所定の入射角度で照明光を照射する照明手段と、被検査面の他方側斜め上方において前記照明光の入射角度よりも小さい反射角度で反射される乱反射光を受光する所定の撮像角度に配置されて被検査面からの反射光に基づいて受光画像を形成する撮像手段と、前記撮像手段により得られる受光画像から欠陥候補を抽出して欠陥候補情報として出力する欠陥候補抽出手段と、前記欠陥候補抽出手段により得られる時間的に異なる時系列の欠陥候補情報から被検査面上の汚れや埃などの異物に基づく誤情報と欠陥候補とを識別する欠陥候補識別手段と、前記欠陥候補識別手段により得られる異なる被検査体表面の欠陥情報から被検査面上の洗浄油や防錆油などの油に基づく誤情報と欠陥との判別および信頼度判定を行う欠陥信頼度判定手段を備えていることを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/30
, G01N 21/88
, G06T 7/00
G01B 11/30 A
, G01N 21/88 J
, G01N 21/88 Z
, G06F 15/62 400
