特許
J-GLOBAL ID:200903078365653563
2次元位置検出装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
武田 元敏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-102907
公開番号(公開出願番号):特開平5-296717
出願日: 1992年04月22日
公開日(公表日): 1993年11月09日
要約:
【要約】【目的】 2次元平面内を運動する被検出物の位置検出装置において、任意の方向と、その方向に直交する方向のいわゆる2次的位置を非接触にて、しかも被検出物を直接検出すること。【構成】 2次元平面モータ1の表面上を被検出物2が任意に運動できるものであり、方向Xの位置を検出するためのスリット光投光装置3aよりスリット光照射口5を経て、平面モータ1の表面に平行なスリット光が照射され、任意の距離だけはなして配設された受光装置3bが受光し、被検出物2で遮られる光の位置を検出する。同様に、方向Xと直交する方向Yにもスリット光投光装置4a,受光装置4bを配設することにより、被検出物2の位置を非接触にて直接検出する。
請求項(抜粋):
2次元平面における任意の第1の方向に任意の長さで配設されたスリット状の光を投光する投光装置と、該投光装置より任意の距離だけはなれかつ、対向する位置に前記投光装置に平行に配設された受光素子とで構成される一対の位置検出手段と、この一対の位置検出手段を前記第1の方向に直交する第2の方向にも配設し、これら二対の位置検出手段をもって任意の範囲の2次元平面を構成する装置において、その閉平面内を移動する被検出物によって、前記二対の位置検出手段のそれぞれの投光装置から投光されたスリット状の光の一部が遮られ、その結果前記二対の位置検出手段の受光素子の一部に光が届かないことによって前記被検出物の位置を非接触にて検出することを特徴とする2次元位置検出装置。
IPC (2件):
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