特許

J-GLOBAL ID：200903078366879743

水晶振動子の製造方法

発明者： 鈴木 克己 ,  砂川 強志
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-074227
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270967
出願日： 1997年03月26日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 水晶振動子の製造歩留まりや品質を向上させ、さらに作業者のフォトマスクの合わせ調整の負荷がなく、フォトマスクの製造費を削減できる水晶振動子の製造方法。【解決手段】 水晶ウェハ100の表裏にスパッタで透明耐食膜201を成膜する。次に、透明耐食膜201上、かつ水晶ウェハ100の表裏に感光性レジスト102を塗布する。次に、片面にフォトマスク103を設置し感光性レジスト102を露光106する。続いて燐酸水溶液中に浸漬しエッチングして所定のパターンとする。そして、HF水溶液に浸漬し、水晶ウェハ100をエッチング、所定のパターンとする。最後に、アセトン中に浸漬し感光性レジスト102を除去、続いて上記燐酸水溶液中に浸漬し透明耐食膜201を剥離除去する。

請求項（抜粋）：

水晶ウェハの表裏に露光の波長を透過するエッチング耐食材を成膜する工程と、前記水晶ウェハの表裏に感光性レジストを全面形成し、片面からパターンマスクを通して一括露光、現像し所定のレジストパターンを水晶ウェハの表裏に形成する工程と、前記水晶ウェハのエッチング耐食膜をエッチングし所定のエッチング耐食膜パターンを形成する工程と、前記水晶ウェハをエッチングし、所定の水晶パターンを形成する工程とを備えることを特徴とする水晶振動子の製造方法。