特許
J-GLOBAL ID：200903078369662214
移動ステージ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-292430
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130639
出願日： 1993年10月29日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】 位置決め精度をさらに向上させる。【構成】 レーザ干渉計を用いて二次元平面に沿って移動可能な移動ステージ5の前記レーザ干渉計用の測定基準部3と基板11を載置するために前記移動ステージ上に設けられた基板保持手段12との間の間隔を非接触で計測し、その計測値に基づいて前記レーザ干渉計の出力値に補正を加える手段を有する移動ステージにおいて、 前記測定基準部3と基板保持手段12との間の間隔の測定点またはその近傍の温度を測定する温度測定手段17,18,19と、前記温度測定手段の近傍に設定されたペルチェ素子14,15,16と、前記温度測定手段により測定された値に基き前記測定点またはその近傍の温度を所定値にするために前記ペルチェ素子を駆動制御する手段22,23とを具備する。
請求項（抜粋）：
レーザ干渉計を用いて二次元平面に沿って移動可能な移動ステージの前記レーザ干渉計用の測定基準部と基板を載置するために前記移動ステージ上に設けられた基板保持手段との間の間隔を非接触で計測し、その計測値に基づいて前記レーザ干渉計の出力値に補正を加える手段を有する移動ステージにおいて、前記測定基準部と基板保持手段との間の間隔の測定点またはその近傍の温度を測定する温度測定手段と、前記温度測定手段の近傍に設定されたペルチェ素子と、前記温度測定手段により測定された値に基き前記測定点またはその近傍の温度を所定値にするために前記ペルチェ素子を駆動制御する手段とを具備することを特徴とする移動ステージ。
IPC (2件)：
前のページに戻る
