特許

J-GLOBAL ID：200903078378141626

感放射線性樹脂組成物

発明者： 中野 孝徳 ,  杉浦 誠 ,  遠藤 昌之
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055879
公開番号（公開出願番号）：特開2000-250208
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 絶縁性、平坦性、耐熱性、耐薬品性などの諸性能に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができ、かつ、厚膜においても透過率の良好な感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基含有不飽和化合物、および(a3)前記(a1)および(a2)以外のオレフィン系不飽和化合物の共重合体、[B]1,2-キノンジアジド化合物並びに[C]分子量1,000以下のカルボン酸を含有する感放射線性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

[A](a1)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物、(a2)エポキシ基含有不飽和化合物、および(a3)前記(a1)および(a2)以外のオレフィン系不飽和化合物の共重合体、[B]1,2-キノンジアジド化合物並びに[C]分子量1,000以下のカルボン酸を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/022 ,  C08F290/00 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/032 501

FI (4件)：

G03F 7/022 ,  C08F290/00 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/032 501

Fターム (45件)：

2H025AA00 ,  2H025AA06 ,  2H025AA18 ,  2H025AA20 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB08 ,  2H025CB13 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J027AC03 ,  4J027AC04 ,  4J027BA04 ,  4J027BA05 ,  4J027BA06 ,  4J027BA07 ,  4J027BA08 ,  4J027BA09 ,  4J027BA11 ,  4J027BA13 ,  4J027BA14 ,  4J027BA17 ,  4J027BA19 ,  4J027BA20 ,  4J027BA23 ,  4J027BA24 ,  4J027BA26 ,  4J027BA28 ,  4J027CA10 ,  4J027CA23 ,  4J027CA24 ,  4J027CA25 ,  4J027CA29 ,  4J027CB02 ,  4J027CB03 ,  4J027CB05 ,  4J027CB09 ,  4J027CD04