特許
J-GLOBAL ID：200903078380236774
照明光学系
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-263643
公開番号（公開出願番号）：特開平6-118331
出願日： 1992年10月01日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】IC等の露光装置に用いられる照明光学系において、光量損失をほとんど発生させることなく、簡単な構成によって、オプティカルインテグレーターの入射端での光の広がり状態を制御することを可能にする。【構成】制御装置11が、照明光学系の光路内に挿入される原板の線幅及びパターン形状に応じて楕円鏡駆動装置12あるいは光源駆動装置13を制御することにより、楕円鏡2及び照明光源1の少なくとも一つを照明光学系の光軸方向に移動制御する。あるいは、光学部材挿入装置14を制御することにより、楕円鏡2とオプティカルインテグレーター3との間に円形の光束を円環状の光束に変換するための光学部材6、7、8を挿入する。
請求項（抜粋）：
照明用光源と、照明用光源より発せられる光を集光する楕円鏡と、楕円鏡により集光された光をもとに2次光源を形成するオプティカルインテグレーターと、オプティカルインテグレーターにより形成される2次光源を投影レンズの入射瞳位置に結像させる光学系と、を有する照明光学系において、照明光学系の光路内に挿入される原板の線幅及びパターン形状に応じて、楕円鏡及び照明用光源の少なくとも一つを照明光学系の光軸方向に移動制御する制御手段を備えたことを特徴とする照明光学系。
IPC (3件)：
G02B 27/00
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
