貯槽内清浄度維持装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-257195
公開番号（公開出願番号）：特開平8-121834
出願日： 1994年10月21日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：

【要約】【目的】クリーンルームの建設コスト低減、省エネルギー化、運転コスト低減が図れ、工場設計の自由度を向上させ得る貯槽内清浄度維持装置を提供する。【構成】貯槽9上部のマンホール8とその周辺のみを囲むラミナー気流室3が形成され、ラミナー気流室3に通じるクリーン廊下2が設けられている。そして、クリーン廊下2の壁部に第1の通行用気密扉6、ラミナー気流室3とクリーン廊下2との間の壁部に第2の通行用気密扉7がそれぞれ設けられている。また、ラミナー気流室3には給気ファン4およびグレーチング5が具備されている。

請求項（抜粋）：

上部にマンホールが設けられ、高い清浄度が要求される内容物が収容された貯槽に対して設置され、前記マンホールの開閉時に異物が前記貯槽内へ進入することを防止して内容物の清浄度を維持するための装置であって、前記マンホールとその周辺の貯槽の一部のみが壁部で囲まれることによって形成されたクリーンルームを有し、該クリーンルームには、室内に清浄空気を供給するための給気手段と、室外へ清浄空気を排気するための排気手段とが具備されていることを特徴とする貯槽内清浄度維持装置。

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