特許
J-GLOBAL ID：200903078401301989
直流反応スパツタ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-230784
公開番号（公開出願番号）：特開平9-053176
出願日： 1995年08月15日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：
【要約】【課題】本発明は、直流反応スパツタ装置において、第1及び第2の電極間に発生する異常放電を有効に防止する。【解決手段】ダイオード及びバリスタを直列に接続した過電圧吸収回路を、第1及び第2の電極を対向させた電極部の電源入力端に並列に接続する
請求項（抜粋）：
第1の電極を第2の電極に対向させた電極部を有し、第1の直流電源が発生した負電圧と、第2の直流電源が周期的に発生した正電圧とを上記第1の電極に印加する直流反応スパツタ装置において、ダイオード及びバリスタが直列に接続され、上記電極部の電源入力端と並行に接続された過電圧吸収回路を具えることを特徴とする直流反応スパツタ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/38
, H01L 21/203 S
