特許
J-GLOBAL ID：200903078401815753
光学式走査装置及び欠陥検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-134956
公開番号（公開出願番号）：特開2002-328099
出願日： 2001年05月02日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：
【要約】【課題】 高い分解能で欠陥検出することができると共に検査時間を大幅に短縮できる欠陥検出装置を実現する。【解決手段】 光源(1)から発生した放射ビームを2次元回折格子(3)によりm×n本のマトリックス状の光ビームアレイに変換する。この光ビームアレイの各光ビームは対物レンズ(10)により微小スポット状に集束して試料(11)に投射する。従って、試料(11)上にはm×n個のマトリックス状に配列された2次元光スポットアレイが形成される。試料ステージ(12)は回転移動すると共にr方向にも並進移動するため、試料表面はm×n個のマトリックス状の光スポットにより走査されることになる。この結果、試料表面はスキャン幅の帯状の光ビームによりスパイラルスキャンされるので、高速走査可能になる。さらに、試料表面からの反射ビームは、遮光部材により分離された各受光素子(19)により受光されるので、コンフォーカル光学系が構成され、この結果、欠陥検出の分解能が一層高くなる。
請求項（抜粋）：
放射ビームを発生する光源と、m及びnを2以上の自然数とした場合に、前記放射ビームを、m行n列のマトリックス状に配列された2次元光ビームのビームアレイに変換する2次元回折格子と、前記m×n本の光ビームをスポット状に集束し、検査すべき試料上にm行n列のマトリックス状に配列された光スポットのアレイを形成する対物レンズと、m’行n’列(m’及びn’は2以上の自然数とする)のマトリックス状に配列した受光素子のアレイを有し、各受光素子はそれぞれ分離されると共に試料表面で反射した各反射ビームをそれぞれ受光する光検出器と、欠陥検査すべき試料を支持する試料ステージと、前記試料ステージを回転させる回転駆動装置及び試料ステージをその回転軸線と直交する軸線に沿って移動させる並進移動装置を有し、前記試料ステージを前記光スポットアレイに対して相対移動させるステージ駆動装置と、試料と光スポットアレイとを相対移動させることにより、m行n列のマトリックス状に配列された2次元光スポットアレイにより試料表面を走査することを特徴とする光学式走査装置。
Fターム (12件)：
2G051AA51
, 2G051AA56
, 2G051AB07
, 2G051BB20
, 2G051BC07
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051CC07
, 2G051CC12
, 2G051DA08
, 2G051EB01
, 2G051EC01
