特許
J-GLOBAL ID：200903078406832044
外観検査装置および外観検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-323616
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160035
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】 部品の装着方向に影響されることなく、精度の高い検査を可能とする。【解決手段】 平板状の検査対象物3を該検査対象物3の配される平面内の一方向Aに沿って移動させる移動手段4と、検査対象物3の移動平面に対して平行に間隔をあけかつ検査対象物3の移動方向Aに交差する方向に沿って配置された直線状の照明手段6と、その照明手段6から出射される光を、検査対象物3の移動方向Aに向かって斜め前方または斜め後方またはその両方向から入射させる入射方向設定手段7と、検査対象物3で反射された光を撮像するラインセンサカメラ5とを具備する構成の外観検査装置1を提供する。
請求項（抜粋）：
平板状の検査対象物を該検査対象物の配される平面である移動平面内の一方向に沿って移動させる移動手段と、前記検査対象物の前記移動平面に対して平行に間隔をあけかつ前記検査対象物の移動方向に交差する方向に沿って配置された直線状の照明手段と、該照明手段から出射される光を、前記検査対象物の移動方向に向かって斜め前方または斜め後方またはその両方向から入射させる入射方向設定手段と、前記検査対象物で反射された光を撮像するラインセンサカメラとを具備することを特徴とする外観検査装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, H01L 21/66
G01B 11/24 C
, G01B 11/24 K
, G01N 21/88 F
, H01L 21/66 J
