特許

J-GLOBAL ID：200903078413176071

一体的になされ応力があらかじめ与えられたセラミック装置およびその製造方法

発明者： ハートリング,ジーン,ヘンリー
出願人/特許権者： リサーチ・コーポレーション・テクノロジーズ・インク
代理人 (1件)： 川▲崎▼ 研二 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-519081
公開番号（公開出願番号）：特表平8-509576
出願日： 1994年02月17日
公開日（公表日）： 1996年10月08日
要約：

【要約】一体的になされ内部に非対称に応力が偏向的にあらかじめ与えられた電気的に作動するセラミック装置の製造方法およびこれにより製造された装置を提供する。第1の過程では、第1および第2の逆向きの面を有するセラミックウエハーを形成する。次に、収縮用雰囲気中で熱処理することにより第1の面を化学的に収縮させる。これにより、湾曲し、内部に非対称な応力が偏向的に与えられたセラミックウエハー26が得られる。第1の面の化学的収縮層28は、導電性を有し、装置の電極として使用され得る。そして他の金属製電極30を第2の面に蒸着等で設けることにより、装置が完成する。

請求項（抜粋）：

内部に非対称に応力が偏向的にあらかじめ与えられたセラミック素子の製造方法であって、 (a) 互いに反対方向を向く第1の面と第2の面とを有するセラミックウエハーを形成する過程と、 (b) 前記第1の面だけを収縮用媒体にさらして、前記第1の面だけを化学的に収縮させる過程と、 を備えたことを特徴とする方法。