特許
J-GLOBAL ID：200903078413574395
イオン源のフィラメント電流の制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-032239
公開番号（公開出願番号）：特開平8-227677
出願日： 1995年02月21日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：
【要約】【構成】 半導体の製造工程において、不純物注入などに用いられ、フィラメントからの熱電子によって注入すべき試料のイオン化を行うフリーマン型やバーナス型のイオン源において、フィラメント電流の立上時に、微少な電流I1を流してその時点での端子間電圧から抵抗値を測定し、その測定結果に対応して前記抵抗値が小さい、すなわちフィラメントの消耗が少ないときには大きい増分Δi2aで放電電流I2付近までフィラメント電流を立上げ、これに対して前記抵抗値が大きい、すなわちフィラメントの消耗が大きいときには小さい増分Δi2bで立上げ、断線の発生を抑える。【効果】 フィラメントの消耗が少ないときには速やかにフィラメント電流を立上げてスループットを向上し、また前記消耗が大きいときには緩やかに立上げて断線の発生を抑え、すなわち長寿命化を図ることができる。
請求項（抜粋）：
フィラメントを加熱してチャンバとの間に熱電子の放電を発生させ、所望とする粒子を前記放電によってイオン化するようにしたイオン源のフィラメント電流の制御方法において、前記フィラメントへの通電開始時に、予め定める微少電流を供給して、該フィラメントによる電圧降下から該フィラメントの抵抗値を測定し、前記抵抗値が予め定める値未満であるときには、放電開始電流付近まで予め定める比較的大きな第1の増分でフィラメント電流を増加してゆき、前記抵抗値が前記予め定める値以上であるときには、放電開始電流付近まで前記第1の増分よりも充分小さい第2の増分でフィラメント電流を増加してゆくことを特徴とするイオン源のフィラメント電流の制御方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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