特許

J-GLOBAL ID：200903078419797027

回折格子を利用した反射防止デバイス

発明者： 佐藤 晃
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-309722
公開番号（公開出願番号）：特開2000-137109
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 基板が異方性媒体である場合や、基板に光が斜入射する場合でも、基板表面における光の反射を防止できる反射防止デバイスを提供する。【解決手段】 波長λの光のS偏光(常偏光)及びP偏光(異常偏光)に対する入射媒体の屈折率をη0S及びη0Pとし、基板Bの屈折率をη2S及びη2Pとする。基板Bの表面に波長λより小さい溝ピッチdを有するラミナー型の回折格子Aを設ける。この回折格子AのS偏光及びP偏光に対する有効屈折率ηS及びηPは断面形状に応じて定まる。そこで、ηS及びηPが次式、を満たすように回折格子Aの断面形状を決定する一方、溝の深さDは、ある一対の整数mS及びmPについて次式、を満たすように決定すると、回折格子Aは前記両偏光に対する反射防止デバイスとなる。

請求項（抜粋）：

入射媒体から基板へ入射する所定波長の光の前記基板の表面における反射を防止するための反射防止デバイスにおいて、前記所定波長よりも小さいピッチで溝が形成された回折格子を含み、該回折格子の溝の深さをD、S偏光及びP偏光に対する有効屈折率をそれぞれηS及びηPとし、前記所定波長をλとし、波長λの光のS偏光及びP偏光に対する前記入射媒体の屈折率をそれぞれη0S及びη0Pとし、該光のS偏光及びP偏光に対する前記基板の屈折率をそれぞれη2S及びη2Pとするとき、次式【数1】が成立し、且つ、ある一対の整数mS及びmPについて、次式【数2】が成立すること、という条件が満たされるように、該回折格子の断面形状及び溝の深さDが定められていること、を特徴とする、回折格子を利用した反射防止デバイス。

IPC (2件)：

G02B 5/18 ,  G02B 1/11

FI (2件)：

G02B 5/18 ,  G02B 1/10 A

Fターム (8件)：

2H049AA03 ,  2H049AA63 ,  2H049BA42 ,  2H049BA45 ,  2H049BA47 ,  2H049BC23 ,  2H049BC25 ,  2K009AA01