特許
J-GLOBAL ID：200903078421809474
金属酸化物の検査装置及びその検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-052764
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243556
出願日： 1996年03月11日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 反射可視光による肉眼検査では困難であったAlとその酸化物の判別、またはAl酸化物の形成状態を容易に検出する。【解決手段】 金属酸化物2には、紫外光源3からレンズ等の光学系4を介して入射光7が照射される。また、金属酸化物2における反射光8は再び別の光学系6によって検査器5に導かれ、検査器5によって反射光強度の検出が行われる。このように、紫外光を利用することにより、金属酸化物2における紫外光の吸収率の高さから酸化物の形成度合いを容易に判別することができる。また、これとは別の金属(またはその合金)とその酸化物において、紫外光の吸収量がそれぞれ異なる場合にも、同様の方法で判別が可能となる。さらに、紫外光検出器と画像処理装置とを組み合わせて用いれば短時間に多量の検査を行うことができるので、生産効率を向上することができる。
請求項（抜粋）：
金属または金属の合金の表面に形成された金属酸化物の検査装置であって、紫外光を放出する装置と、前記紫外光を前記金属酸化物へ導入するための光学系と、前記金属酸化物表面での反射紫外光を検出する紫外光検出器とを備えたことを特徴とする金属酸化物の検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/33
, G01B 11/06
, G01N 33/20
, H01L 21/66
G01N 21/33
, G01B 11/06 Z
, G01N 33/20 N
, H01L 21/66 Q
