特許
J-GLOBAL ID：200903078423064107
ガスセンサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-029001
公開番号（公開出願番号）：特開2007-206040
出願日： 2006年02月06日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：
【課題】リーク電流が小さく、より安定した特性を有するガスセンサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】ガスセンサ1は、孔壁によって仕切られた多数の孔を有する多孔質誘電体層11と、多孔質誘電体層11を挟むように配置された第1電極13及び第2電極10とを備える。多孔質誘電体層11の孔壁は、その全てが絶縁体で構成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ガスセンサであって、
孔壁によって仕切られた多数の孔を有する多孔質誘電体層と、
前記多孔質誘電体層を挟むように配置された第1及び第2電極と、
を備え、前記多孔質誘電体層の孔壁の全てが絶縁体で構成されている、
ことを特徴とするガスセンサ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2G060AA01
, 2G060AB02
, 2G060AE19
, 2G060AF10
, 2G060AG11
, 2G060BB09
, 2G060JA01
, 2G060JA02
