特許

J-GLOBAL ID：200903078425414539

静電容量式圧力センサ

発明者： 今井 正人
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 佐藤 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-267182
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111207
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】 ノイズレベルが高いグランドラインに接続されて使用される場合であっても出力信号のS/N比の向上を実現すること。【解決手段】 ダイヤフラム部に設けられた可動電極及びこれと所定ギャップを存して対向する固定電極により構成された検出コンデンサCD 、対をなす固定電極により構成された基準コンデンサCR は、各一方の電極がシャーシグランドされる。インピーダンス要素Z1及び検出コンデンサCD より成る第1のローパスフィルタ19は、発振回路17からの搬送波信号Scを検出コンデンサCDの静電容量に応じた増幅率でAM変調する。インピーダンス要素Z2及び基準コンデンサCR より成る第2のローパスフィルタ20は、搬送波信号Scを基準コンデンサCR の静電容量に応じた増幅率でAM変調する。差動増幅回路22は、上記各AM変調出力の偏差を増幅する。この増幅出力を受けるバンドパスフィルタ24は、通過帯域の中心周波数が搬送波信号Scの周波数と一致するように設定される。

請求項（抜粋）：

ダイヤフラム部に設けられた可動電極及びこれと所定ギャップを存して対向する固定電極により構成された検出コンデンサを備え、この検出コンデンサの一方の電極がグランドされた状態で使用される静電容量式圧力センサにおいて、対をなす固定電極により構成され一方の電極がグランドされる基準コンデンサと、所定周波数の搬送波信号を発生する発振回路と、前記搬送波信号を前記検出コンデンサの静電容量に応じた増幅率でAM変調する第1の変調手段と、前記搬送波信号を前記基準コンデンサの静電容量に応じた増幅率でAM変調する第2の変調手段と、前記第1及び第2の変調手段による各変調出力の偏差を増幅する増幅手段と、この増幅手段による増幅信号を通過させるように設けられ、その通過帯域の中心周波数が前記搬送波信号の周波数と一致するように設定されたバンドパスフィルタとを備えたことを特徴とする静電容量式圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 23/12 ,  G01L 9/12 ,  G01L 27/00

FI (3件)：

G01L 23/12 ,  G01L 9/12 ,  G01L 27/00