特許
J-GLOBAL ID：200903078426476619
界分布測定方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北野 好人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-129802
公開番号（公開出願番号）：特開2001-311756
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：
【要約】【課題】 プローブを連続的に走査して電界や磁界の空間的な分布を測定する界分布測定方法及び装置に関し、プローブ走行位置と測定タイミングとのずれによって発生する測定ノイズを除去しうる界分布測定方法及び装置を提供する。【解決手段】 プローブを連続的に走査しながら複数のサンプリング点において測定を行うことにより電界又は磁界の空間的な分布を測定する界分布測定方法において、プローブの位置と測定のタイミングとのずれによって発生するスプリアススペクトルに基づいてサンプリングのずれ量を算出し、このずれ量を考慮して電界又は磁界の分布を測定する。
請求項（抜粋）：
プローブを連続的に走査しながら複数のサンプリング点において測定を行うことにより電界又は磁界の空間的な分布を測定する界分布測定方法において、前記プローブの位置と測定のタイミングとのずれによって発生するスプリアススペクトルに基づいてサンプリング点のずれ量を算出し、前記ずれ量を考慮して電界又は磁界の分布を測定することを特徴とする界分布測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 29/10 B
, G01R 29/08 D
