特許

J-GLOBAL ID：200903078427513542

画像測定機

発明者： 町井 暢且
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-029993
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196635
出願日： 1996年01月23日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】 輪郭形状の測定精度を向上させた画像測定機を提供する。【解決手段】 被検物の像を捉えるCCDカメラ13と、カメラで捉えた撮像範囲内に設定される指標内にある被検物の輪郭形状のエッジを画像処理により検出する画像処理部21とを備えた画像測定機において、輪郭形状に沿った各点の指標の位置及び方向を設定しながら、各測定点のエッジ座標値を画像処理部から取り込むプレ測定部51と、各測定点のエッジ座標値に基づき、各測定点での指標の位置及び方向を表す測定指示データを作成する測定指示データ作成部52と、測定指示データに従って輪郭形状を測定するリプレイ測定部53とを備え、データ作成部52は各測定点での指標の方向を輪郭形状の法線方向とする。輪郭形状の曲率変化が大きい場合でも、指標の角度方向が常に各測定点での輪郭形状に垂直な状態でエッジが検出され、エッジの検出位置にばらつきが生じない。

請求項（抜粋）：

ステージ上に載置された被検物の像を光学系を介して捉え、捉えた像の光強度分布に応じた電気信号を出力する撮像手段と、前記撮像手段で捉えた撮像範囲内に設定されるエッジ検出領域内にある被検物の輪郭形状のエッジを前記電気信号に基づく画像処理により検出し、エッジ座標値を表す信号を出力する画像処理手段とを備え、前記輪郭形状の測定を行なう画像測定機において、前記輪郭形状に沿った複数の点の各々の前記エッジ検出領域の位置及び方向を設定しながら、前記エッジが検出された各測定点で前記エッジ座標値を前記画像処理部から取り込む第1の測定部と、前記第1の測定部で取り込んだ前記各測定点のエッジ座標値に基づき、前記各測定点での前記エッジ検出領域の位置及び方向を表すティーチングデータを作成するデータ作成部と、前記ティーチングデータに従って前記輪郭形状を測定する第2の測定部とを備え、前記データ作成部は、前記各測定点での前記エッジ検出領域の方向を前記各測定点での前記輪郭形状の法線方向としたティーチングデータを作成することを特徴とする画像測定機。