特許

J-GLOBAL ID：200903078437250574

薄肉部品の平面度測定方法

発明者： 伊藤 学
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-302047
公開番号（公開出願番号）：特開2003-106828
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：

【要約】【課題】 薄肉部品の平面度を測定するのに際し、薄肉部品の平面度を数値で管理することができ、非接触で測定でき、測定に要する工数を削減する。【解決手段】 投光部3aと受光部3bとを有した光学的手法の測定器3を高さ方向の寸法を測定できるように設置する。薄肉部品1を載置したステージ2を投光部3aと受光部3bとの間に通過させ、ステージ2を含めた薄肉部品1の投影形状によって平面度を測定する。

請求項（抜粋）：

投光部と受光部とを有した光学的手法の測定器を高さ方向の寸法を測定できるように設置し、薄肉部品を載置したステージを前記投光部と受光部との間に通過させ、ステージを含めた薄肉部品の投影形状によって平面度を測定することを特徴とする薄肉部品の平面度測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/30 101 ,  G01B 11/04

FI (2件)：

G01B 11/30 101 A ,  G01B 11/04 Z

Fターム (8件)：

2F065AA24 ,  2F065AA47 ,  2F065CC00 ,  2F065FF02 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ09 ,  2F065PP12