微少流量制御装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川井治男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-323792
公開番号（公開出願番号）：特開2001-142539
出願日： 1999年11月15日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】体積流量として1×10-6L/s以下の領域を含む微少流量範囲において簡単でコスト的にも有利な装置で正確で再現性のある流量制御を行う【解決手段】差圧を有する流路2、3において径1mm以下の一定断面積のキャピラリィ4を設けて外周を形成し、一定断面積のキャピラリィ4の中に一定断面積の細い棒状の調節棒5をキャピラリィの軸方向に位置を可変調節可能に配置し、一定断面積のキャピラリィの中に間隙の小さい環状の流路6を長さ可変に構成して、流路の流れに対する抵抗を層流または分子流に対応する抵抗となし、調節棒の軸方向の位置を可変して微少流量のある範囲内での制御を行う

請求項（抜粋）：

差圧を有する流路において径1mm以下の一定断面積の管路を設けて外周を形成し、一定断面積の管路の中に一定断面積の細い棒状の調節棒を管路の軸方向に位置を可変調節可能に配置し、一定断面積の管路の中に間隙の小さい環状の流路を長さ可変に構成して、流路の流れに対する抵抗を層流または分子流に対応する抵抗となし、調節棒の軸方向の位置を可変して微少流量のある範囲内での制御を行う微少流量制御装置。

Fターム (9件)：

5H307BB01 , 5H307BB05 , 5H307DD01 , 5H307DD20 , 5H307EE02 , 5H307EE13 , 5H307GG11 , 5H307JJ01 , 5H307KK08

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