特許
J-GLOBAL ID：200903078452367941
絶縁物試料の帯電中和方法、及び二次イオン質量分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-288042
公開番号（公開出願番号）：特開平5-126700
出願日： 1991年11月01日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：
【要約】【目的】 絶縁物試料に正の一次イオンを照射して試料から放出される二次イオンを測定する二次イオン質量分析装置を用いて絶縁物試料を分析する際の絶縁物試料の帯電を除去する。【構成】 絶縁物試料1の一次イオンX照射面の反対面にコイル3を配設すると共に、前記コイル3に電流を流すことにより、絶縁物試料から放出される二次電子を磁界で捕獲してこの捕獲電子によって正に帯電した絶縁物試料1の表面の電荷を中和する。
請求項（抜粋）：
絶縁物試料に正の一次イオンを照射して試料から放出される二次イオンを測定する二次イオン質量分析装置を用いて絶縁物試料を分析する際の絶縁物試料の帯電中和方法において、絶縁物試料の一次イオン照射面の反対面にコイルを配設すると共に、前記コイルに所定の電流を流すことにより、絶縁物試料から放出される二次電子を捕獲してこの捕獲電子によって正に帯電した絶縁物試料表面を中和することを特徴とする絶縁物試料の帯電中和方法。
IPC (3件)：
G01N 1/28
, G01N 23/225
, H01J 37/252
