微小寸法測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-235724
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063520
出願日： 1993年08月27日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】 TVカメラ、および画像処理装置を備えた寸法測定装置、特に光学顕微鏡を備え、微小寸法測定に供するものにおいて、測定対象物の寸法測定対象となるべき二つの輪郭に段差を有し、1回の焦点合わせでは同時に合焦しないで片方の輪郭のみピントが合う場合に、寸法測定精度の向上、Z軸ステージの制御手段の簡便化、および寸法測定時間の短縮を目的とする。【構成】画像メモリ、TVカメラで撮像した映像の微分手段、およびZ軸ステージを上下に移動する手段を有し、測定対象物を載せたZ軸ステージを上下に移動する間に、固定された光学顕微鏡とTVカメラで撮像した複数映像を微分し、複数の微分画像を画像メモリで蓄積合成して、一つの蓄積画像を得て、その画像に蓄積された測定対象物の輪郭位置情報によって寸法測定を行う。

請求項（抜粋）：

光学顕微鏡、TVカメラ、および画像処理装置から構成された微小寸法測定装置において、パターン等の段差のある測定対象物の幅を測定する場合に、該測定対象物の各測定箇所(輪郭)ごとに合焦する画像の画像信号を、蓄積合成し、該蓄積合成された一画像信号の中の、輪郭に相当する輝度レベル変化の大きい部位間の距離情報により寸法測定することを特徴とする微小寸法測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/02 , G06T 1/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

形状計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-175731 出願人：浜松ホトニクス株式会社
特開昭61-124809
特開昭62-192606

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