特許
J-GLOBAL ID：200903078457994715
セル駆動型圧電アクチュエータ及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-278562
公開番号（公開出願番号）：特開2006-093476
出願日： 2004年09月24日
公開日（公表日）： 2006年04月06日
要約：
【課題】別段の加工等を要せず、且つ、圧電体の伸縮変位を阻害しないように、適用機器に取り付け可能な圧電アクチュエータを提供すること。【解決手段】複数の層状の圧電体14と層状の駆動電極18,19とが交互に積層された圧電素子34で構成され、前記圧電素子34の伸縮変位によって容積が変化するセル3を備える駆動部63が、外周部64aより低く、且つ、基板2と駆動部63と外周部64aとが焼成一体化されてなるセル駆動型圧電アクチュエータ60。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
基板の上に、駆動部と、その外周に位置する外周部と、が備わり、
前記駆動部は、整列配置された2つの側壁を天井壁で接続してなるセルを複数具備し、少なくとも前記2つの側壁が、複数の層状の圧電体と層状の駆動電極とが交互に積層されてなる圧電素子で構成され、その圧電素子の電界誘起歪みの縦効果に基づく伸縮変位により前記セルの容積が変化し得るとともに、
少なくともセルの長手方向において、前記駆動部の高さが前記外周部より低く、且つ、前記基板と前記駆動部と前記外周部とが焼成一体化されているセル駆動型圧電アクチュエータ。
IPC (7件)：
H01L 41/083
, H02N 2/00
, H01L 41/22
, H01L 41/187
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
H01L41/08 N
, H02N2/00 B
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101C
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 101J
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
2C057AG40
, 2C057AG42
, 2C057AG44
, 2C057AP16
, 2C057AP22
, 2C057BA04
, 2C057BA14
