光ファイバ干渉センサ、光ファイバ干渉センサの信号処理システム、信号処理方法および記録媒体

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：真田修治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-284624
公開番号（公開出願番号）：特開2002-090111
出願日： 2000年09月20日
公開日（公表日）： 2002年03月27日
要約：

【要約】【課題】簡単な構成で、低周波のゆらぎおよびノイズ等の不要な信号成分による影響を効果的に抑制し、光学系の簡易な調整および検出信号の簡単な信号処理によって、高精度な測定結果を得る。【解決手段】広帯域の低コヒーレンス光を発生する光源1の光に基づくファブリペロー型ロードセル6の波長変調された出力光をギャップ可変ファブリペロー型干渉計8に入射させる。ギャップ可変ファブリペロー型干渉計8は、ファブリペロー型ロードセル6のセンサギャップ間隙近傍で光強度が最小となり、光検出器9により光相関信号として検出される。信号処理部12は、光検出器9から光パワーメータ10およびA/D変換器11を介して得られる時系列の信号から所要の光相関信号を抽出し、その光相関信号の高周波のノイズ成分をローパスフィルタ処理により除去し、平滑化微分して、該微分値がレベル零と交わる零クロス点を求める。

請求項（抜粋）：

力、ひずみ、圧力および温度等の物理量により変動する被計測間隙を存し、平行平面をなして光ファイバの端面を対峙させ且つ該光ファイバの対峙する端面に部分反射ミラーを形成してなるセンサ部の一方の光ファイバに、低コヒーレンス光源の光を導き、前記被計測間隙における多重反射により、前記被計測間隙の間隙寸法に対応して波長変調された反射光または透過光のいずれかを光ファイバにて導き、光強度センサにより間隙変化に対応する時系列の光強度を得て光強度最小位置または光強度最大位置を検出して、前記被計測間隙を求め、前記物理量の大きさを計測するファブリペロー型の光ファイバ干渉センサにおいて、前記低コヒーレンス光源として、波長スペクトル分布が広い広帯域光源を用い、且つ前記光強度センサの時系列の出力信号から所要の光相関信号を抽出する光相関信号抽出手段と、前記光相関信号抽出手段から出力される光相関信号から、該光相関信号における最小または最大位置を求める極値位置算出手段とを具備することを特徴とする光ファイバ干渉センサ。

IPC (3件)：

G01B 9/02 , G01B 11/14 , G01L 1/00

FI (3件)：

G01B 9/02 , G01B 11/14 G , G01L 1/00 B

Fターム (33件)：

2F064AA01 , 2F064CC01 , 2F064EE01 , 2F064EE05 , 2F064EE06 , 2F064FF03 , 2F064FF07 , 2F064GG02 , 2F064GG17 , 2F064GG24 , 2F064HH01 , 2F064HH05 , 2F064JJ00 , 2F065AA22 , 2F065AA65 , 2F065DD04 , 2F065DD11 , 2F065FF52 , 2F065GG02 , 2F065GG07 , 2F065JJ01 , 2F065JJ15 , 2F065LL00 , 2F065LL04 , 2F065NN08 , 2F065QQ03 , 2F065QQ13 , 2F065QQ17 , 2F065QQ18 , 2F065QQ23 , 2F065QQ28 , 2F065QQ29 , 2F065QQ33

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開平2-031113

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