特許
J-GLOBAL ID：200903078460570284
マイクロ物理量記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤谷 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-080173
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264122
出願日： 2000年03月22日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：
【要約】【課題】再書き込み可能で保守の容易なマイクロ物理量記録装置を提供する。【解決手段】SOI基板上に物理量を変位に変換する物理量変換部10と、その変位を針13により読み書き消去する記録部20と、その記録部20を回転又は並進させる駆動部30を形成する。この装置に加速度が作用すれば、物理量変換部10のマス部11と針13が変位し、その変位が記録部20の記録円盤21に記録される。記録円盤21は駆動部30の可動電極33から周期的な押圧力を受け、それにより回転せられる。よって、加速度等の変化が記録円盤21の円周上に時間記録される。記録部20に、消去部22を備えれば再利用可能となる。これらはマイクロマシニング技術によって作製されるので、超小型の物理量記録装置となる。又、装置自体は封印されるので信頼性に優れ、保守の容易な記録装置となる。
請求項（抜粋）：
マイクロマシニング技術により基板上に形成され、物理量を検出し記録する物理量記録装置において、前記基板に垂直方向にz軸、水平方向にx軸、y軸の3次元座標軸をとる時、検出した物理量をy軸方向の変位量に変換する物理量変換部と、前記物理量変換部に連結され、z軸方向に伸長された針によって前記変位量を書き込む変位量書き込み部と、回転又は並進が可能であり、前記針により前記変位量が記録される記録部と、前記記録部を回転又は並進させる駆動部と、前記記録部に記録された前記変位量を読み出す読み出し部とを備えたことを特徴とするマイクロ物理量記録装置。
IPC (7件)：
G01D 9/00
, B81B 7/02
, G01D 15/06
, G01D 15/12
, G01P 9/04
, G01P 15/02
, G01C 19/56
G01D 9/00 K
, B81B 7/02
, G01D 15/06 Z
, G01D 15/12
, G01P 9/04
, G01P 15/02
, G01C 19/56
2F070AA04
, 2F070CC01
, 2F070CC11
, 2F070FF04
, 2F105BB00
, 2F105CC04
, 2F105CD05
