金属有機物の化学蒸着による膜のモニタリング装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-317198
公開番号（公開出願番号）：特開平8-193813
出願日： 1994年12月20日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：

【要約】【目的】相異な波長をもつ二つのレーザービームを成長中の膜に同時に投射し、成長中の膜から反射された二つの反射ビームのそれぞれの干渉パターン周期を分析して膜の厚さと組成をモニタリングする。【構成】膜から反射される二つの反射光をそれぞれ検出するための光検出器として、短波長用レーザービームの検出に適合なシリコン検出器70と長波長用レーザービームの検出に適合なGe(germanium)検出器90を利用して、同時に相互に相異な波長の二つの反射光を感知して実時間に膜の厚さおよび組成を測定する。

請求項（抜粋）：

所定の第1波長をもつ第1レーザービームを発生する第1レーザービーム発生手段と、前記所定の第1波長と相異な所定の第2波長をもつ第2レーザービームを発生する第2レーザービーム発生手段と、前記第1レーザービームを所定の比率に分割するビーム分割手段と、前記第1レーザービーム発生手段からの前記第1レーザービームを通過させ、そして前記第2レーザービーム発生手段からの前記第2レーザービームを反射させ、前記第1および第2レーザービームがチャンバ内に位置したサンプルの表面にそれぞれ入射されるようにする第1フィルター手段と、前記サンプルの前記表面から反射される前記第1レーザービームの反射光を通過させ、前記サンプルの前記表面から反射される前記第2レーザービームの反射光を反射させる第2フィルター手段と、前記第2フィルター手段からの前記第1レーザービームの前記反射光を検出してそれに対応される電気信号を出力する第1光検出手段と、前記第2フィルター手段からの前記第2レーザービームの前記反射光を検出してそれに対応される電気信号を出力する第2光検出手段と、前記第1および第2各光検出手段からの前記電気信号を受け入れて比較分析する演算手段とを包含する、金属有機物の化学蒸着による膜のモニタリング装置。

IPC (4件)：

G01B 11/06 , C23C 16/18 , C23C 16/52 , H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭57-103004
特開昭63-122906
特開昭63-036105

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