スペクトル測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西岡義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-007331
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201278
出願日： 1995年01月20日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】構成部品数が少なく小型で調節機構が不要なATRプルズムを用いたスペクトル測定装置を提供する。【構成】 ATRプリズム11は複数の入射面と出射面との対を有し、各入射面にはそれぞれ特定波長の光を発する光源12a、12bをこの入射面に密着させて取り付け、各出射面には対となる入射面に取り付けた光源から発せられ反射面にて反射された測定光を受光する検出器13a、13bをこの出射面に密着させて取り付け、複数の波長の測定をそれぞれの対により行うようにしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

測定光が入射される入射面、被測定試料表面が密着され被測定試料表面により前記測定光が反射される反射面、反射面において反射された後の測定光が出射される出射面を有するATRプリズムを用いて測定するスペクトル測定装置において、前記ATRプリズムは複数の入射面と出射面との対を有し、各入射面にはそれぞれ特定波長の光を発する光源をこの入射面に密着させて取り付け、各出射面には対となる入射面に取り付けた光源から発せられ反射面にて反射された測定光を受光する検出器をこの出射面に密着させて取り付けることにより、複数の波長の全反射吸収測定を行うようにしたことを特徴とするスペクトル測定装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

表面素励起共振測定器
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-171127 出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー

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