特許
J-GLOBAL ID：200903078479740202
圧電型振動センサ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-004882
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209070
出願日： 1994年01月20日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 回転機の監視、衝撃スイッチ等に利用される圧電型振動センサにおいて、指向性に優れた小型の圧電型振動センサを提供する。【構成】 基板に、第1の積層電極と、圧電体と、第2の積層電極26と荷重体とがこの順に積層された検知部を有する圧電型振動センサである。そして、前記第2の積層電極26は、圧電体の平面の中心を交点として直交するx軸とy軸のうち、x軸の変位を検出するx軸用分割電極31と、y軸の変位を検出するy軸用分割電極32と、前記x軸用分割電極31同士と短絡したx軸用接続電極33と、y軸用分割電極32同士を短絡したy軸用接続電極32aとからなるものである。さらに、前記x軸用接続電極33と、y軸用接続電極32aは、その一方を平面的に他方に投影したときに重ならないか、あるいは重なるときは重なることによって形成される静電容量が、前記検知部全体の静電容量の5%以下であることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板に、第1の積層電極と、圧電体と、第2の積層電極と、荷重体とがこの順に積層された構造を持つ検知部を有する圧電型振動センサにおいて、第2の積層電極は、1枚以上の絶縁板と2層以上の電極群とが交互に積層されてなり、前記電極群は圧電体の平面の中心を交点として直交するx軸とy軸のうち、x軸の変位を検出する一対のx軸用分割電極と、y軸の変位を検出する一対のy軸用分割電極と、前記x軸用分割電極同士を短絡したx軸用接続電極と、前記y軸用分割電極同士を短絡したy軸用接続電極とからなり、これらx軸用接続電極と、y軸用接続電極とは、その一方を平面的に他方に投影したときに重ならないか、あるいは重なるときは、重なることによって形成される静電容量が前記検知部全体の静電容量の5%以下であり、さらに電極群と絶縁板とには、これらを貫通するスルーホールが形成され、該スルーホールには、前記一対のx軸用分割電極または一対のy軸用分割電極と接続電極とを電気的に接続する接続部が設けられていることを特徴とする圧電型振動センサ。
IPC (2件)：
前のページに戻る
