特許

J-GLOBAL ID：200903078499768812

遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物

発明者： 佐藤 健一郎 ,  児玉 邦彦 ,  青合 利明
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-095374
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292926
出願日： 1999年04月01日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】 遠紫外光を使用するミクロフォトファブリケ-ション本来の性能向上技術の課題を解決することで、詳しくは現像の際の現像欠陥発生及びスカムの発生の問題を解消し、更に線幅再現性に優れたポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】 活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、特定の環状構造を有し、かつ酸の作用により分解する基を有する樹脂、及び酸の作用により分解し、スルホン酸を発生する化合物を含有する遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)下記一般式(I)及び一般式(II)で表される繰り返し単位のうち少なくとも1種を含み、酸の作用により分解しアルカリに対する溶解性が増加する樹脂、及び(C)酸の作用により分解し、スルホン酸を発生する化合物を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。【化1】式中:R1 〜R8は、同じでも異なってもよく、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよい環状炭化水素基、ハロゲン原子、シアノ基、-COOH基、酸の作用により分解する基、又は-C(=O)-X-A-R9 を表す。Xは、酸素原子、硫黄原子、-NH-、-NHSO2-、-NHSO2NH-から選ばれる2価の結合基を表す。Aは、単結合、アルキレン基、置換アルキレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基、アミド基、スルフォンアミド基、ウレタン基、及びウレア基よりなる群から選択される1種あるいは2種以上の基を組み合わせた2価の基を表す。R9 は、置換基を有していてもよい、アルキル基、環状炭化水素基あるいはアルコキシ基、-COOH、-COOR10'(R10'はR10の定義と同じものあるいは下記ラクトン構造を表す)、-CN、水酸基、-CO-NH-R10、-CO-NH-SO2-R10又は下記式で示される基を表す。【化2】R10は、置換基を有していてもよいアルキル基、又は置換基を有していてもよい環状アルキル基を表す。R11〜R20は、各々、水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。a、bは1又は2である。

IPC (6件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 32/00 ,  C08K 5/00 ,  C08L 45/00 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 32/00 ,  C08K 5/00 ,  C08L 45/00 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (74件)：

2H025AA00 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CC20 ,  2H025FA01 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J002BK001 ,  4J002EB106 ,  4J002EU186 ,  4J002EU216 ,  4J002EV176 ,  4J002EV216 ,  4J002EV237 ,  4J002EV247 ,  4J002EV296 ,  4J002FD206 ,  4J002FD207 ,  4J002GP03 ,  4J100AK31P ,  4J100AK31Q ,  4J100AM41P ,  4J100AM42P ,  4J100AM42Q ,  4J100AR02Q ,  4J100AR11P ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA04P ,  4J100BA04Q ,  4J100BA05P ,  4J100BA05Q ,  4J100BA06P ,  4J100BA06Q ,  4J100BA11P ,  4J100BA11Q ,  4J100BA12P ,  4J100BA12Q ,  4J100BA15P ,  4J100BA15Q ,  4J100BA16P ,  4J100BA16Q ,  4J100BA20P ,  4J100BA20Q ,  4J100BA29P ,  4J100BA29Q ,  4J100BA34P ,  4J100BA34Q ,  4J100BA40P ,  4J100BA40Q ,  4J100BA55P ,  4J100BA59P ,  4J100BA59Q ,  4J100BB18P ,  4J100BC04P ,  4J100BC04Q ,  4J100BC08P ,  4J100BC08Q ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC12P ,  4J100BC12Q ,  4J100BC52P ,  4J100BC52Q ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100JA38