ガラスの微細穴加工方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梅田明彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-116766
公開番号（公開出願番号）：特開2000-302488
出願日： 1999年04月23日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
要約：

【要約】【課題】ガラス材料に複雑な断面形状を有する高品質で高アスペクト比の微細穴を加工する。【解決手段】レーザ加工により又は超音波加工によりガラス基板2に微細穴3を形成し、その中に樹脂材料又はホットメルト材などの充填物6を詰めた状態で、ガラス基板の両面を研磨し、その後に充填物を微細穴から除去して、微細な貫通穴を形成する。更に、貫通穴の少なくとも一方の開口周縁部をマイクロブラスト加工することにより又はエッチング加工することにより、その開口部にテーパ17を付けたり、所望の断面形状に加工する。【効果】微細穴の形成時に生じる歪みやクラック、表面荒れ、ドロスなどを取り除くことができ、優れた形状精度が得られ、高速で複雑な断面形状の高品質かつ高アスペクト比の微細穴を形成し得る実用的な加工方法が得られる。

請求項（抜粋）：

ガラスからなる被加工物に微細穴を形成する過程と、前記微細穴が開口する前記被加工物の表面を研磨する過程とからなることを特徴とするガラスの微細穴加工方法。

IPC (4件)：

C03C 23/00 , B23K 20/10 , B23K 26/00 330 , B41J 2/135

FI (4件)：

C03C 23/00 Z , B23K 20/10 , B23K 26/00 330 , B41J 3/04 103 N

Fターム (21件)：

2C057AF24 , 2C057AF93 , 2C057AG07 , 2C057AP02 , 2C057AP13 , 2C057AP33 , 4E067AA17 , 4E067AB11 , 4E067BA01 , 4E067BF03 , 4E067BH01 , 4E067DA06 , 4E068AA04 , 4E068AF00 , 4E068AF02 , 4E068DA14 , 4E068DB13 , 4G059AA01 , 4G059AA11 , 4G059AB03 , 4G059AC30

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