特許
J-GLOBAL ID：200903078500481921
干渉縞生成表示方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-253323
公開番号（公開出願番号）：特開平8-122028
出願日： 1994年10月19日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】 アラインメント調整された基準面と被検面との間の光干渉により得られた干渉縞データに、被検面の傾きデータを計算上で加え、疑似干渉縞を発生させることにより、平滑度の高い被検面の表面形状を検査する場合にもオペレータが観察し易い数の干渉縞を有する高精度の干渉縞画像を得る。【構成】 干渉縞が最小となるように基準面と被検面とのアラインメント調整を行ない(S1)、測定領域を設定し(S2)、縞(位相)走査法による干渉縞解析を行なって被検面の形状データを得(S3)、計算上で傾きを補正してアラインメント調整の微調整を行ない(S4)、さらに形状データに所定の傾き設定データを加えて被検面に計算上の傾きを与え(S5)、疑似干渉縞を生成し(S6)、これをオペレータが視認可能に表示する(S7)。
請求項（抜粋）：
測定対象である被検面と基準面との間の光干渉により生じる干渉縞のデータを解析して前記被検面の表面形状を求めるとともに該データに基づき新たな干渉縞画像を生成し、この画像を表示する干渉縞生成表示方法において、前記被検面と前記基準面とを干渉縞本数が最小となるようにアラインメント調整し、この後、前記2つの面の間隔を変化せしめるとともに、該間隔を所定量だけ変化せしめる度にそのとき現われている干渉縞のデータを求め、この後、前記干渉縞のデータと、前記被検面と前記基準面を相対的に所定量だけ傾けた場合のデータに相当する傾き設定データとに基づき前記被検面を傾けた場合における該被検面の表面形状を表わす所定本数の疑似干渉縞の画像データを生成し、この疑似干渉縞の画像データに基づき該疑似干渉縞の画像を表示手段上に表示することを特徴とする干渉縞生成表示方法。
IPC (2件)：
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