特許
J-GLOBAL ID：200903078503024157
超高純度窒素・酸素製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八木田 茂 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-093045
公開番号（公開出願番号）：特開平5-296651
出願日： 1992年04月13日
公開日（公表日）： 1993年11月09日
要約：
【要約】【目的】 半導体工業での使用に適した超高純度窒素及び超高純度を原料空気の液化、精留により並産できる装置。【構成】 原料空気は第1精留塔(4)で精留され、塔頂に分離された窒素ガスは窒素凝縮器(8)で、第1精留塔の塔底に分離され膨張された酸素富化液体空気により液化されて第1精留塔に戻され、そのわずかに下方から超高純度液体窒素が取出される(4R2)、塔底にリボイラー(5b)を有する第2精留塔(5)の上部には、前記膨張された酸化富化液体空気が供給され、ここでの精留により塔下部の液体酸素溜め上方からは、頂部に凝縮器(6e)を有する第3精留塔(6)下部に酸素ガスが供給される。ここでの精留により酸素より高沸点の不純物を液化除去された高純度酸素ガスが、凝縮器の下方から、頂部に凝縮器(7e)、塔底にリボイラー(7a)を有する第4精留塔(7)の中央部に供給される。ここでの精留により酸素より低沸点不純物は未凝縮ガスとして頂部から排出され、超高純度液体酸素が塔底に分離される。
請求項（抜粋）：
塵、水分、一酸化炭素、二酸化炭素等を除去後の圧縮原料空気を冷却液化して第1精留塔(4)の下部に導入し、該第1精留塔の精留部での精留によつて該第1精留塔(4)上部より超高純度窒素を取出すとともに、超高純度酸素を並産する装置において、前記第1精留塔(1)下部から取出された酸素富化液体空気を膨張弁(V3)による減圧後第2精留塔(5)に導入し、該第2精留塔の精留部での精留によつて該第2精留塔(5)の底部に液体酸素を貯留し、リボイラー(5a)によつて該液体酸素を加温して微量の不純物を含む酸素ガスとし、該酸素ガスを第3精留塔(6)に導入し、該第3精留塔にて酸素ガス中の酸素より高沸点の成分を液化除去した後、該酸素ガスを第4精留塔(7)に導入し、該第4精留塔の精留部での精留によつて該精留部の下方より超高純度酸素を取出すことを特徴とする超高純度窒素・酸素製造装置。
引用特許：
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