石英ガラスルツボ及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：服部平八
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-170366
公開番号（公開出願番号）：特開平8-012359
出願日： 1994年06月30日
公開日（公表日）： 1996年01月16日
要約：

【要約】【構成】アーク回転溶融法により形成された内表面に透明層を有する石英ガラスルツボにおいて、透明ガラス層に粒状構造がないことを特徴とする石英ガラスルツボおよびその製造方法。【効果】本発明の石英ガラスルツボは、単結晶の引上げを減圧下で行っても、内表面が荒れることなく平滑さが維持され、結晶化率よくマルチ引上げや連続充填引上げを行うことができる。しかも前記石英ガラスルツボは、従来のアーク回転溶融法を用い、単にシリカ粉の粒径を規定することにより製造でき、コスト的にも有利な製造方法である。

請求項（抜粋）：