レジスト塗布装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阿部美次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-091620
公開番号（公開出願番号）：特開平5-267147
出願日： 1992年03月17日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：

【要約】【目的】溶剤の揮発を防ぎ、レジスト粘度を一定に保ち得るレジスト塗布装置を提供する。【構成】レジスト収納容器1はレジスト及び揮発性溶剤を収納する。レジスト送出管2は一端21がレジスト収納容器1の内部に連なり、他端22が対象物7にレジストを供給する供給端となっている。気体導入路3は一端31がレジスト収納容器1の内部に連なり、他端32が気体雰囲気中に開放された開放端である。逆止装置4は気体導入路3に備えられ、レジスト収納容器1側から開放端32側への揮発性溶剤の揮発を阻止する方向性を有する。

請求項（抜粋）：

レジスト収納容器と、レジスト送出管と、気体導入路と、逆止装置とを有するレジスト塗布装置であって、前記レジスト収納容器は、レジスト及び揮発性溶剤を収納するものであり、前記レジスト送出管は、一端が前記レジスト収納容器の内部に連なり、他端がレジスト供給端となっており、前記気体導入路は、一端が前記レジスト収納容器の内部に連なり、他端が気体雰囲気中に開放された開放端であり、前記逆止装置は、前記気体導入路に備えられ、前記レジスト収納容器側から前記開放端側への前記揮発性溶剤の流れを阻止する方向性を有するレジスト塗布装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , B05C 11/08 , B05C 11/10 , G03F 7/16 502

FI (2件)：

H01L 21/30 361 C , H01L 21/30 361 B

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